KLA為全球半導體製程控制及設備的市場領導者，將於9/28 09:00AM - 11:00AM舉辦薄膜和塗層技術亞洲區線上研討會。邀請此領域的佼佼者，著重討論薄膜和塗層方面的接觸剛度、蠕變、斷裂韌性、應力-應變曲線、存儲模量及損耗因子等力學參量的測量。 對於
薄膜厚度量測 及
奈米壓痕測試 進行最完整的剖析說明，所有最新最前端的新知，將毫無保留的分享給每一位參與者。
立創光電 身為KLA得力夥伴，不單單提供儀器販售，更具有技術諮詢、提供客製化方案、教育訓練、維修等完整配套之售後服務，絕對也是您的最佳夥伴!
林少挺 博士
Dr. Shaoting Lin
美國密西根州立大學 機械工程系助理教授
抗疲勞水凝膠層材料的聚合物結構設計
Polymer Network Design of Hydrogels for Fatigue-resistant HydrogelCoatings
林少挺博士從清華大學獲得本科和碩士學位後，於2019年從麻省理工大學獲得博士學位。博士期間，他專注於軟材料的力學破壞和軟材料機器的使用壽命。他的研究任務是利用分子設計和理論建模來開發用於長期醫療保健、可持續水回收和節能建築的高性能軟材料。林博士在各類權威期刊上共發表論文 17 篇，其中 4 篇被ESI重點引用。他的研究成果曾在 Nature、MIT News、BBC 和 Bloomberg上發表。他曾獲得中國政府優秀自費留學生獎、Den Hortog力學獎，以及清華大學的凱風公益獎學金和國家獎學金。
Janelle Wharry 博士
美國普渡大學 材料工程學院副教授
用於快速篩選應力腐蝕裂痕(SCC)蔓延的奈米壓痕技術
Nanoindentation Mapping for Rapid Screening of Stress Corrosion Cracking(SCC) Propagation
Janelle P. Wharry 是美國普渡大學材料工程學院的副教授，也是 Materials Today Communications 的編輯。她於2012年獲得了密西根大學核工程與放射科學博士學位。Wharry博士的研究旨在瞭解輻照材料中的結構-性能-功能的關係，重點是奈米/微米級的變形機制和力學性能。她的現行專案涵蓋核結構和包層合金、通過先進製造和連接方法生產的結構材料、金屬和氧化物核燃料以及電陶瓷材料。她發表了 80 多篇同行評審的期刊文章和會議論文。Wharry博士在材料奈米/微力學性能方面獲得了多個獎項，包括美國能源部頒發的早期職業生涯獎、美國國家科學基金獎和美國核學會蘭迪斯青年會員獎。
Jake Polster 博士
KLA 公司
使用光譜反射率測量薄膜塗層厚度
Measuring Thin Film Coating Thickness with Spectral Reflectance
Polster博士在俄亥俄州出生和長大，並於2022 年獲得加州大學歐文分校物理化學博士學位。他的論文題目是“探索奈米限域效應下的非傳統固-液介面Exploring Non-Traditional Solid-Liquid Interfaces Under Nanoconfinement”。他於2022年加入KLA Instruments團隊，擔任應用工程師。Polster博士專注于薄膜厚度測量和方塊電阻測量儀器。
Jennifer Hay
KLA 公司
奈米划痕方法測量低介電常數薄膜的附著力 (現場演示)
Live Demo of Nano-scratch to Quantify Adhesion of Low-k on Si
奈米壓痕技術專家。在加入KLA之前，她在Nanomechanics Keysight、Agilent和MTS系統公司擔任類似職務。自1996年以來，Jennifer一直在奈米壓痕領域工作，在推進奈米壓痕國際標準化的同時也為新的應用開發方法，包括薄膜、聚合物、凝膠和生物材料。Jennifer曾擔任實驗力學學會（SEM）MEMS/奈米力學技術部的主席，她撰寫了許多關於奈米壓痕的期刊文章，包括在SEM期刊《實驗技術》中的特邀系列專題。
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光學膜厚儀 薄膜厚度、折射率&消光係數 非破壞性量測薄至1奈米或厚至13毫米的薄膜，且不須移動任何零件，快速的量測薄膜厚度、折射率&消光係數 (n&k值）、顏色、甚至是表面粗糙度，系統透過反射光譜、穿透光譜進行強大演算法分析，搭配超過1000種材質的資料庫，實現即時的準確監控分析，是製程監控及提升良率的可靠工具。 |
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